MLH 634 - Messgerät für Leistungshalbleiter
- Schnelle Messung aller statischen Eigenschaften einzelner Halbleiter
- Handmessplatz für die Bauteilprüfung in Produktion und Qualitätssicherung
- Integration in automatische Anlagen über serielle Schnittstelle
- Sehr kurze Messzeiten möglich, geeignet für Messungen an Wafer oder in der Produktion
- Sperrstrommessung bis 20 mA
- Sperrspannungsmessung bis 2.500 V
- Gate-Threshold-Messung bis 20 V
- Durchlassspannungsmessung VF mit 0,1 bis 20 A
- Integrierter Multiplexer zur Verbindung zu anderen Messgeräten
- Polaritätsumschaltung zur Messung in Vorwärts- und Rückwärtsrichtung
Merkmale
Das Messgerät für Leistungshalbleiter MLH 634 wurde zur schnellen Prüfung von Leistungshalbleitern entwickelt. Gemessen werden die Sperrspannungseigenschaften sowie der Spannungsabfall in Vorwärtsrichtung (im durchgesteuerten Zustand).
Zur Anwendung in Pick & Place - Anlagen stehen zusätzlich eine Funktionsprüfung sowie eine Gate-Threshold- Messung zur Verfügung.
Ein Parallelregler sorgt jeweils dafür, dass die Ausgangsspannung bzw. der Strom durch den Prüfling auf die voreingestellten Werte begrenzt wird.
Die Messdauer ist abhängig von den Einstellungen für Sperrstrom und maximale Sperrspannung sowie von der Prüflingskapazität und kann zwischen 2 und 100 ms betragen.
Für Labor- und Wartungszwecke kann das Gerät manuell betrieben werden, ansonsten erfolgt die Bedienung über serielle Schnittstelle.
Die zusätzlich angebotene Bediener-Software erlaubt u. a. die einfache Erstellung von Messroutinen sowie eine ergebnisabhängige Klassifizierung der Prüflinge.
Zur Verbindung mit weiteren Messgeräten (z. B. ZEH 634) wurde eine Messgeräteumschaltung integriert, wodurch die Prüfung aller gängigen statischen Eigenschaften von Thyristoren, MOSFETs und IGBTs ermöglicht wird.